干燥N气温度，常用真空术语及常用公式

对于常用真空术语及常用公式和干燥N气温度的题，不少人都是想了解的，下面就让小编来介绍吧！

真空技术是一门基础科学技术，广泛应用于各个行业，如半导体制造、航空航天、太阳能光伏、真空镀膜等。本文整理了一些常用的真空术语，方便大家进一步了解真空技术。

Part01真空基础知识

目前，行业中的真空测量设备，相对真空一般用于粗真空环境或正压环境，绝对真空一般用于高真空和超高真空环境。详情请参阅仪器说明书。

为了便于理解，下图给出了当地大气压为标准大气压时相对真空与绝对真空的运算关系

1.真空

在给定空间中低于一个大气压的气体状态是一种物理现象。

2、真空度

真空状态下气体的稀薄程度通常用“高真空度”和“低真空度”来表示。真空度高意味着真空度“好”，真空度低意味着真空度“差”。

3.极限真空

真空容器完全抽真空后，稳定在一定的真空度，称为极限真空。

通常真空容器必须精炼12小时，然后抽真空12小时。最后一小时每10分钟测量一次，10次的平均值即为极限真空值。

Part02真空基础知识

1.交通

在真空泵吸气口处，单位时间内流过的气体量称为泵的流量。符号用“Q”表示，单位为Pam3/s或PaL/s。

2.电导

表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒。稳态下，管道的电导等于管道流量除以管道两端的压差。符号表示为“U”。

UQ/P2-P1

根据定义，电导是气体流量除以管道上的压差，因此电导的单位与抽速相同。

管道电导

管道的流导是管道的电导率，代表气流通过管道的能力。当管道两端存在压差P2-P1，流经管道的气体流量为Q时，管道电导U的定义为

U=Q/P2-P1

其中，U为传导量，Q为气体流量，P2、P1为管道两端压差。

由上式可知，管道的电导是单位压差下流经管道的气体的体积流量，其单位为m/s，或用L/s表示。

真空系统中的各个部件，如管道、阀门、收集器、除尘器等，都希望流导尽可能大，以便气体顺利通过。因此，电导是真空系统元件设计计算中的一个重要参数。

传导是指真空系统各部分对气流的阻碍程度。它与管子的长度、横截面积、形状、粗糙度、弯曲程度等有关。

例如，管道长度为1米，截面积为001平方米，两端压力分别为10kPa和1kPa，通过的气体流量为01升/秒，则其传导率为001升/秒。

3、抽气速率

单位时间内流经泵入口的气体体积称为泵的抽气量。抽气速率的单位为m3/s或L/s，用S表示。

一般来说，真空泵的抽气速率与气体的种类有关。因此，给定泵的抽气速率表示某种气体的抽气速率。如无特殊说明，多指空气的抽气量。

给定气体A的抽气速率SA是流过泵入口的气体A的流量QA与气体A的分压pA的比值，如下式所示

SA=QA/pA

抽气速度是指单位时间内真空泵从真空系统中抽出气体的体积。与真空泵的类型、结构、工作参数及真空度有关

例如，如果真空泵在1kPa的压力下每秒能抽出1升的气体，那么它的抽气速度就是1升/秒。

4、抽速系数

泵的实际抽气量与根据泵入口区域的分子流出计算的理论抽气量之比。

5、启动压力

泵无损坏启动并具有抽气作用时的压力，单位为Pa。

6.前压

排气压力低于101325kPa的真空泵的出口压力，单位为Pa。

7、最大前压力

超过前压力会损坏泵，其单位为Pa。

8、最大工作压力

最大抽气量对应的入口压力。在此压力下，泵可以连续工作而不会变质或损坏。其单位是帕。

9、回流率

泵在规定条件下工作时，单位面积、单位时间内通过泵入口的泵液质量流量与泵送方向相反，其单位为g/。

10.冷阱

置于真空容器和泵之间用于吸附气体或捕获油蒸气的装置。

11、真空泵的应用

根据真空泵的性能，它可以在各种应用的真空系统中发挥以下作用。

主泵在真空系统中，用来获得所需的真空度。

粗抽泵从大气压力开始，降低系统压力，直至另一个抽气系统开始工作的真空泵。

前级泵用于将另一台泵的前级压力保持在其最大允许前级压力以下的真空泵。前级泵也可用作低真空泵。

维持泵在真空系统中，当抽气量较小时，主前级泵不能得到有效利用。因此，在真空系统中配置一个容量较小的辅助前级泵，以维持主泵的正常运行或维持抽空容器所需的低压真空泵。

粗低真空泵从大气压开始，降低容器压力，在低真空范围内工作的真空泵。

高真空泵在高真空范围内工作的真空泵。

超高真空泵在超高真空范围内工作的真空泵。

增压泵在高真空泵和低真空泵之间安装机械增压泵、油增压泵等真空泵，以增加抽气系统在中压范围内的抽气能力或降低抽气系统的容量要求。前级泵。

一般工作范围

Part03真空概念

1.真空的定义。真空系统是指低于大气压的稀薄气体状态的区域。2、真空状态下气体稀薄的真空度通常用“高真空度”和“低真空度”来表示。真空度高意味着真空度“好”，真空度低意味着真空度“差”。3、真空度的单位通常为Torr。近年来，Pascal在上得到广泛使用。

1Torr=1/760大气压=1mm汞柱4.Torr和Pascal的换算1Torr=133322Pascal或1Pascal=7510-3Torr5.经历不规则热运动的平均自由程气体粒子，两个连续碰撞所行驶的平均距离用符号“”表示。6、流量是指单位时间内流过任意截面的气体量。符号用“Q”表示，单位为PaL/秒或TorL/秒。7、电导表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒。稳态下，管道的电导等于管道流量除以管道两端的压差。符号表示为“U”。

UQ/P2-P1

8、压力或压强是气体分子对容器壁单位面积所施加的力，用“P”表示。9、标准大气压是每平方厘米101325达因的气压，符号10、极限真空真空容器完全抽真空后，稳定在一定的真空度。这种真空度称为极限真空。

通常真空容器必须精炼12小时，然后抽真空12小时。最后一小时每10分钟测量一次，10次的平均值即为极限真空值。

11、抽气量在一定压力和温度下，单位时间内从泵进气口抽出的气体称为抽气量，简称抽速。即，SpQ/12。热电偶真空计利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，而元件的温度与气体的热传导有关的原理来测量真空度。13、电离真空计由圆柱形收集器、栅格和位于栅格中心的灯丝组成。圆柱形集热器位于栅极外部。

热阴极发射电子使气体分子电离，离子被收集器收集。真空计，根据收集的离子流的大小测量气体压力。

14、复合真空计由热电偶真空计和热阴极电离真空计组成。测量范围为大气压至10-5Pa。

15、冷阴极电离计在阳极筒两端有一对阴极板。在外磁场作用下，阳极筒内形成潘宁放电，产生离子。根据阴极板收集的离子流的大小来测量气体压力的真空计。

16、电阻真空计利用发热元件的电阻与温度有关，元件的温度与气体传导有关的原理。它是一种通过桥式电路测量真空度的真空计。

17、麦克劳真空计利用水银将被测气体压缩到很小的体积，然后比较开管和闭管的液柱差，利用波义耳定律直接计算出气体压力。

18.B-A真空计这是阴极和集电极倒置的热阴极电离真空计。收集器是一根细丝，放置在栅格中心，灯丝放置在栅格外侧，从而减少软X射线的影响，延长测量下限，测量超高真空。

19、水环真空泵叶轮转子旋转产生水环。由于转子的偏心旋转，水环与叶片之间的容积发生周期性变化而抽真空的机械真空泵。

20、往复式真空泵是利用活塞的往复运动来抽气的机械真空泵。

21、油封式机械真空泵利用油来维持密封。机械真空泵可分为定片式、旋片式、滑阀式、次摆线式等。

22、罗茨真空泵有一对带有鞋底形转子的机械真空泵，它们同时高速旋转。该泵不能单独泵送空气。前级需配备油封、水环等可直接排大气的真空泵。

23、涡轮分子真空泵具有高速旋转的叶轮。当气体分子与高速旋转的涡轮叶片碰撞时，被驱动到气体出口，然后被前级泵抽出。

24、油扩散真空泵从扩散泵的喷嘴喷出高速蒸汽流。在分子流条件下，气体分子不断扩散到蒸气流中，并被蒸气携带到泵出口，在泵出口处被逐级压缩，然后由前级泵排出。

25、低温真空泵是利用20K以下低温表面冷凝、吸附气体的真空泵。

26、冷阱置于真空容器和泵之间，是用来吸附气体或捕获油蒸气的装置。

27、气镇阀、油封机械真空泵，压缩室开小孔，安装调节阀。当阀门打开并调节进气量时，转子旋转到一定位置，空气通过该孔混入压缩室，以减少压缩。起到这种作用的阀门称为气镇阀。

28、真空冷冻干燥真空冷冻干燥又称升华干燥。其原理是将物料冷冻，使其所含的水分变成冰块，然后在真空下使冰升华，达到干燥的目的。

29.真空蒸发。在真空环境下，将材料加热并电镀到基材上的过程称为真空蒸发或真空镀膜。

30、真空干燥是利用真空环境下沸点低的优点来干燥物品的方法。

31、真空系统的常用名称1、主泵在真空系统中，利用真空泵获得所需的真空度，以满足特定的工艺要求。例如，真空镀膜机中的油扩散泵是主泵。

2、前级泵用于维持某一真空泵的前级压力低于其临界前级压力的真空泵。例如，配置在罗茨泵前面的旋片泵或滑阀泵就是前级泵。

3、粗泵从大气压开始抽气，将系统压力抽至另一台真空泵开始工作的真空泵。例如真空镀膜机中的滑阀泵就是原油泵。

4、维护泵在真空系统中，当风量较小时，前级泵无法有效使用。为此，配置容量较小的辅助泵来维持主泵的工作。该泵称为维护泵。例如，在扩散泵的出口处装有小型旋片泵，这是一种维护泵。

Part04真空度计算公式

1.波义耳定律

体积V，压力P，PV=常数一定质量的气体，当温度不变时，气体的压力与气体的体积成反比。即P1/P2=V2/V12，盖-吕萨克定律。当压力P一定时，一定质量气体的体积V与绝对温度T成正比V1/V2=T1/T2=常数

当压力保持恒定时，温度每升高1C或P降低1C，一定质量的气体的体积就增加或减少1/273。3.查尔斯定律当气体的体积V不变时不变，一定质量的气体会增加或减少1/273。气体，压力P与其绝对温度T成正比，即P1/P2=T1/T2

在一定体积和一定质量的气体下，温度每升高或降低1，其压力较原值升高或降低1/273。4、平均自由程=510-3/Pcm5，抽气速度S=dv/dt升/秒或S=Q/PQ=流量托升/秒P=压力托V=体积升t=时间秒6.电导C=Q/P2-P1升/秒7.抽真空时间从大气压到1托的抽气时间计算公式t=8V/S。经验公式V为体积，S为抽气速率，通常t在510分钟内选择。8、维护泵选型S尺寸=S前/109。扩散泵抽速估算S=3D2D=直径cm)

10、罗茨泵前级抽速S=01~02S=l/s11。泄漏率Qleak=VP2-P1/t2-t1Qleak-系统泄漏率mmHgl/sV-系统容积lP1-真空泵停止时系统内压力mmHgP2-时间t后真空室达到的压力mmHgt-经过时间s当压力从P1上升到P2时

12、粗泵抽速选择S=Q1/P预

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